聚焦離子束掃描電子顯微鏡產(chǎn)品介紹
Scios 2 DualBeam掃描電子顯微鏡產(chǎn)品介紹:
Thermo Scientific Scios 2 DualBeam 是一套超高分辨率的分析 聚焦離子束掃描電子顯微鏡 (FIB-SEM) 系統(tǒng),可為包括磁性和非導(dǎo)電材料在內(nèi)的各種樣品提供出色的樣品制備與 3D 表征性能 。Scios 2 DualBeam 通過(guò)創(chuàng)新的功能設(shè)計(jì)提高了通量、精度以及易用性,是滿足科學(xué)家和工程師在學(xué)術(shù)、政府以及工業(yè)研究領(lǐng)域高級(jí)研究和分析需求的理想解決方案。
Scios 2 DualBeam掃描電子顯微鏡主要特點(diǎn):
快速便捷地制備高質(zhì)量TEM樣品
超高分辨率成像
完整的樣品信息
高質(zhì)量、多模式亞表面和3D信息
精確的樣品導(dǎo)航
無(wú)偽影成像和構(gòu)成圖案
聚焦離子束掃描電子顯微鏡技術(shù)參數(shù)
電子束分辨率 | 最佳 WD |
在 30 keV STEM 下為 0.7 nm | |
在 1 keV 下為 1.4 nm | |
在 1 keV(射束減速)下為 1.2 nm | |
電子束參數(shù)空間 | 電子束電流范圍:1 pA 至 400 nA |
著陸能量范圍:20* eV – 30 keV | |
加速電壓范圍:200 V – 30 kV | |
最大水平射野寬度:7 mm WD 時(shí)為 3.0 mm,60 mm WD 時(shí)為 7.0 mm | |
可通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)航剪輯提供超寬視野 (1×) | |
離子光學(xué)系統(tǒng) | 加速電壓:500 V – 30 kV |
電子束電流范圍:1.5 pA – 65 nA | |
15 位置光闌條 | |
漂移抑制模式,為非導(dǎo)電樣品的標(biāo)準(zhǔn)模式 | |
最小離子源壽命:1,000 小時(shí) | |
離子束分辨率:選擇角方法下 30kV 時(shí)為 3.0 nm | |
檢測(cè)器 | Trinity 檢測(cè)系統(tǒng)(鏡筒內(nèi)和色譜柱內(nèi)) |
T1 分段式下鏡筒內(nèi)檢測(cè)器 | |
T2 上鏡筒內(nèi)檢測(cè)器 | |
T3 可伸縮色譜柱內(nèi)檢測(cè)器(可選配) | |
多達(dá) 4 個(gè)同時(shí)檢測(cè)的信號(hào) | |
Everhart-Thornley SE 檢測(cè)器 (ETD) | |
用于二級(jí)離子 (SI) 和二級(jí)電子 (SE) 的高性能離子轉(zhuǎn)換和電子檢測(cè)器 (ICE)(可選配) | |
可伸縮、低電壓、高對(duì)比度、分段式、固態(tài)反向散射電子檢測(cè)器 (DBS)(可選配) | |
帶 BF/DF/HAADF 分段的可伸縮 STEM 3+ 檢測(cè)器(可選配) | |
查看樣品和腔室的 IR 攝像機(jī) | |
腔室內(nèi) Nav-Cam 樣品導(dǎo)航攝像機(jī)(可選配) | |
集成的光束電流測(cè)量 | |
載物臺(tái)和樣品 | 靈活的 5 軸電動(dòng)平臺(tái): |
XY 范圍:110 mm | |
Z 范圍:65 mm | |
旋轉(zhuǎn):360°(無(wú)限) | |
傾斜范圍:-15° 至 +90° | |
XY 重復(fù)性:3 μm | |
最大樣品高度:與共心點(diǎn)間距 85 mm | |
0° 傾斜時(shí)的最大樣品重量:5 kg (包括樣品架) | |
最大樣品尺寸:完全旋轉(zhuǎn)時(shí) 110 mm(也可以是更大的樣品,但旋轉(zhuǎn)有限) | |
計(jì)算中心旋轉(zhuǎn)和傾斜 |
聚焦離子束掃描電子顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)配置
聚焦離子束掃描電子顯微鏡可選配件
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